六氟化硫相对分子质量为146.50，沸点、熔点分别为-51度和-61.8度，可作为-45~0度范围的制冷剂。又因其耐热性能好，是一种高温热载体。

六氟化硫具有极好的稳定性，卓越的电绝缘性和灭弧特性。绝缘能力为空气的2.5倍以上，而灭弧的性能为空气的100倍。

大量的六氟化硫主要应用在电气设备上。半导体技术的进步，对六氟化硫纯度提出更高的要求。以下把纯度指标提高到：纯度99.9%；杂质含量：空气（氧、氮）<0.05%;水<0.0015%;四氟化碳<0.05%;酸度（氟化氢）<0.00003%;氟化氢水解产物<0.0001%

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